離子研磨儀在半導體失效分析中的應用案例分享

失效分析是對于電子元件失效原因進(jìn)行診斷，在進(jìn)行失效分析的過(guò)程中，往往需要借助儀器設備，以及化學(xué)類(lèi)手段進(jìn)行分析，以確認失效模式，判斷失效原因，研究失效機理，提出改善預防措施。其方法可以分為有損分析，無(wú)損分析，物理分析，化學(xué)分析等。其中在進(jìn)行微觀(guān)形貌檢測的時(shí)候，尤其是需要觀(guān)察斷面或者內部結構時(shí)，需要用到離子研磨儀+掃描電鏡結合法，來(lái)進(jìn)行失效分析研究。
離子研磨儀目前是普遍使用的制樣工具，可以進(jìn)行不同角度的剖面切削以及表面的拋光和清潔處理，以制備出適合半導體故障分析的 SEM 用樣品。

• 適用于離子束剖面切削、表面拋光

• 可預設不同切削角度制備橫截面樣品

• 可用于樣品拋光或最終階段的細拋和清潔

• 超高能量離子槍用于快速拋光

• 低能量離子槍適用后處理的表面無(wú)損細拋和清潔

• 操作簡(jiǎn)單，嵌入式計算機系統，全自動(dòng)設定操作

• 冷卻系統標準化，應用于多種類(lèi)樣本

• 高分辨率彩色相機實(shí)現實(shí)時(shí)監控拋光過(guò)程