日本電子掃描電鏡的主要系統介紹

　　日本電子掃描電鏡照片是灰度圖像，分為二次電子像和背散射電子像，主要用于表面微觀(guān)形貌觀(guān)察或者表面元素分布觀(guān)察。應用于對樣品微區形貌，結構與組成進(jìn)行觀(guān)察與分析。 它以分辨率高，景深好和操作簡(jiǎn)單而被廣泛應用于材料學(xué)，物理學(xué)，化學(xué)，生物學(xué)，考古學(xué)，地礦學(xué)和微電子工業(yè)。
 

　　一般二次電子圖像主要反映樣品表面微觀(guān)形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情況需要對比分析。背散射電子圖像主要反映樣品表面元素分布情況，越亮的區域，原子序數越高?？幢砻嫘蚊?，通常亮的區域高，暗的區域低
 

　　日本電子掃描電鏡主要由七大系統組成，即電子光學(xué)系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環(huán)水系統、電源供給系統。其中較重要的三個(gè)系統是電子光學(xué)系統、信號探測處理和顯示系統以及真空系統。
 

　　1、電子光學(xué)系統
 

　　電子光學(xué)系統包括電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈、樣品室等，主要用于產(chǎn)生一束能量分布窄、電子能量確定的電子束用以?huà)呙璩上蟆?br /> 

　　2、信號探測處理和顯示系統
 

　　電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì )產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線(xiàn)能譜分析儀等來(lái)區分這些信號以獲得所需要的信息。
 

　　3、真空系統
 

　　真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內產(chǎn)生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類(lèi)，機械泵加油擴散泵的組合可以滿(mǎn)足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求。成象系統和電子束系統均內置在真空柱中。